電纜長度：10米光學系統：正反射型。
檢測距離：20正負1mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：900mm×25μm。
分辨率：0.25μm。
電纜長度：2m歐姆龍ZUV-L3S。監測2波長的等離子發光量。
實現了、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測ZUV-L3S
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：反向動作滾珠擺桿型。
端子的種類：螺絲端子。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關歐姆龍ZUV-L3S。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類：微小負載。
接點間隔：H (0.25mm)。
驅動桿：彈簧短柱塞型歐姆龍ZUV-L3S。
端子的種類：焊接端子。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型歐姆龍UV-LED照射器。光學系統：漫反射型。
檢測距離：130正負15mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：600mm×70μm。
分辨率：3μm。
電纜長度：2m。電源電壓：DC24V。
控制輸出：PNP輸出。空氣凈化單元。
適用：410mm。
電源規格：空氣凈化單元供電。
更薄、更大風量的ZN系列靈活、迅速地實現清潔化歐姆龍UV-LED照射器。
可根據清潔室的尺寸選用的3種尺寸。驅動桿：短滾珠擺桿型。
小型、封閉式開關。
帶內置標準型開關的小型、封閉式開關，
確保高可重復性和耐久性，操作次數少10000000次。
安裝間距與Z標準型開關相同歐姆龍UV-LED照射器。
與傳統限位開關相比，所需操作力更小。
產品系列中包含帶操作指示燈的型號，易于維護和檢測。
通過EN、UL、CSA和CCC （中國標準）標準認證。分類：微小負載。
接點間隔：H (0.25mm)。
驅動桿：彈簧細柱塞型。
端子子的種類：螺絲端子ZUV-L3S。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關。
斷路容量達155A，且精度高歐姆龍ZUV-L3S。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。