晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。小巧機(jī)體設(shè)計(jì)，顯示字體較大，即使在一段距離之外也能清晰讀數(shù)，
從而顯著降低了人工讀數(shù)出錯(cuò)的風(fēng)險(xiǎn)E2E-X1R5F1-M3-Z
溫控器采用緊湊設(shè)計(jì)風(fēng)格，
因此對(duì)控制柜內(nèi)安裝空間的要求較低(60mm)，
即使安裝空間較為狹小，
亦可輕松快速地實(shí)現(xiàn)卡入式安裝。
同時(shí)融入了歐姆龍的PID控制專利，
使其溫度控制的性達(dá)到了新的標(biāo)準(zhǔn)，
其50ms的采樣周期也使溫度控制的迅捷性上升了一個(gè)臺(tái)階歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D:φ1mm。
保護(hù)管長(zhǎng)度L：15cm。
導(dǎo)線種類：耐熱用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對(duì)應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時(shí)的棒狀端子對(duì)應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
可根據(jù)要測(cè)量的溫度、場(chǎng)所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長(zhǎng)度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。
E3FA塑料外殼。
傳感器類型：BGS型(背景型)。
檢測(cè)距離：200mm。
連接方式：M12接插件。
輸出方式：PNP。種類：非屏蔽型。
形狀：φ6.5歐姆龍接近傳感器(標(biāo)準(zhǔn)型)。
檢測(cè)距離：2mm。
連接方式：導(dǎo)線引出型(2m)。
導(dǎo)線規(guī)格：PVC（耐油）。
動(dòng)作模式：NO。
接線顏色/插針配置：褐：+V 黑：輸出；藍(lán)：0V。
輸出類型：PNP輸出。
小型接近傳感器，安裝異常“輕松”!
E2E 小徑型使用更方便。可減少設(shè)備從啟動(dòng)到保養(yǎng)的安裝調(diào)整工時(shí)。
檢測(cè)距離以往的1.5倍定位調(diào)整“輕松”歐姆龍接近傳感器(標(biāo)準(zhǔn)型)。
為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定檢測(cè)，推薦檢測(cè)距離×0.7以內(nèi)的設(shè)置。
指示燈4處位置調(diào)節(jié)“輕松”。
若使用專用安裝配件，設(shè)計(jì)也“輕松”。尺寸：48×48mm。
控制輸出1：電壓輸出(SSR驅(qū)動(dòng)用)歐姆龍接近傳感器(標(biāo)準(zhǔn)型)。
控制輸出2：電壓輸出(SSR驅(qū)動(dòng)用)。
輔助輸出：--。
電源電壓：AC/DC24V。
端子類型：螺釘端子臺(tái)型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱器斷線、SSR故障檢測(cè)功能：--。
通信：--。
事件輸入：--。
遠(yuǎn)程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選擇、操作及設(shè)定簡(jiǎn)便。
輸入輸出點(diǎn)數(shù)等的功能性能充實(shí)。
支持應(yīng)用范圍更為廣泛。
采用高15.2mm的PV顯示(白色)，提高可視性。
實(shí)現(xiàn)50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(大3點(diǎn))、事件輸入(大4點(diǎn)點(diǎn))、傳送輸出、
遠(yuǎn)程SP輸入功能，支持各種應(yīng)用程序E2E-X1R5F1-M3-Z。
E5CCC具有進(jìn)深60mm的纖細(xì)機(jī)身歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計(jì)算機(jī)相連
后，無需電源接線即可設(shè)定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設(shè)定。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯(lián)合溫控器。