E3F3-R82M 2M產(chǎn)品特點(diǎn)及功能介紹：
晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。尺寸：96×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：--。
輔助輸出：3點(diǎn)。
通信：--E3F3-R82M 2M
加熱器斷線：--。
事件輸入：--。
電源電壓：AC/DC24V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設(shè)定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強(qiáng)、功能更完善應(yīng)用更范圍更為廣泛。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進(jìn)了可視性。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。E3X-DA11SE-S分類：單功能型 ，
控制輸出：NPN輸出，
擴(kuò)展傳感器技術(shù)的新世紀(jì)檢測平臺耐水性能優(yōu)異的樹脂外殼型接近開關(guān)。
符合IP68，出類拔萃的保護(hù)結(jié)構(gòu)。
防止相互干擾（備有異頻型）。
種類：屏蔽，M12。
檢測距離：2mm。
輸出形式：交流2線式。
動作模式：NC。可檢測非金屬物體通用螺紋安裝型。
通用螺紋切削式靜電容量型。
備有M12、 M18、 M30型。
檢測距離固定的無調(diào)整型。
形狀：非屏蔽，M30。
檢測距離：15mm。
輸出形式：交流2線式。
動作模式：NC。E5CN、E5EN、E5AN、E5ZN、E5□R用軟件。
能縮短參數(shù)設(shè)定、裝置調(diào)整、維護(hù)的時間。
能用計(jì)算機(jī)編制、編輯和下載全部參數(shù)。
能減少參數(shù)設(shè)定的工時。
在線功能。
多能同時31 臺的數(shù)據(jù)。
（但是于同一系列的溫控器）。
參數(shù)掩碼（不顯示不使用的參數(shù)）功能。
（E5_N、E5_R）
與CX-Programmer同時啟動并一起使用，
能共享CX-Programmer所使用的文件夾。
配置有僅通過單元編號就能自動檢索型號的功能及，
趨勢連接功能（自動巡視功能）。端子部形狀:端子露出型。
保護(hù)管直徑D:φ15mm。
元件種類：J（IC）。
保護(hù)管長度L：100cm。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。尺寸：48×48mm，端子臺型。
種類：控制輸出2點(diǎn)型（電源AC100～ 240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制輸出2：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
加熱器斷線、 SSR故障檢測功能：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
新增程序型。
采用大256段程序容量，較高性價(jià)比的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
可設(shè)定多8個程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位顯示/可顯示0.01°C（實(shí)現(xiàn)了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機(jī)型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），
1臺機(jī)器支持多種傳感器。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/RESET、報(bào)警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持持軟件（CX-Thermo Ver.4.3），
在簡易運(yùn)算功能（AND/OR邏輯和）。
設(shè)定中輕松設(shè)定能夠執(zhí)行柔性的接點(diǎn)輸出的程序設(shè)定。
控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能可預(yù)測溫控器內(nèi)部繼電器的故障。
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