晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E3X-VG21原理及應用。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mE3X-VG21尺寸：48×96mm。
控制輸出1：繼電器。
輔助（報警）輸出：4個。
傳送輸出：--。
事件輸入：2個。
通信：RS-485。
斷線檢測：1個。
電源電壓：AC100～240VE3X-VG21原理及應用。
E5□C系列的程序型產品新上市。
大256段的程序容量，
支持多種應用程序。
可設定多8個程序(模式)×32段(步)的程序。
采用高25mm(E5AC-T)、18mm(E5AC-T)的PV顯示(白色)，
提高可視性。
不僅在本體的頂面上，在正面上也配備了工具端口，
使用通信轉換電纜(另售)與計算機相連后，
無需電源接線即可設定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設定。
實現50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(4點)、事件輸入(大6點)、傳送輸出，
支持各種應用程序。
進深60mm的纖細機身。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯合溫控器。E3X-VG21原理及應用。
警報：單報警報。
輸出：電壓輸出（固態繼電器驅動用）。
數位式泛用雙顯示電子溫度控制器。
DIN 48×48mm 手動自動調諧（Manual Auto-tuning）PID控制。
雙警報/單警報及測溫阻種類豐富。
繼電器/固態繼電器（SSR驅動）系列化。
有防止誤操作功能。E3Z-T81A檢測方式:對射型。
連接方式:導線引出式（2m）3 。
檢測距離:10m。
輸出方式：PNP輸出。
實現小型、長距離、節省電力和
節省能源的光電傳感器的標準型
溫度范圍：-40.0～40.0℃。
正/反動作：正動作（冷卻用）。
調節模式：ON、OFF動作。
借助微電腦可實現（以0.1°C為單位）的溫度控制。
與控制設備組合使用，可調整調節靈敏度。
附帶便于節能運行的設定值轉換功能，以及便于運行停止的控制禁止功能。控制輸出：繼電器輸出。
輔助輸出：2點。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：--。
事件輸入：--。
通信：RS-485。
端子形狀：螺釘端子臺型(主單元+端子單元)。
電源電壓：AC/DC24V。
E5□C系列的操作性、維持原狀適合連接觸摸屏/PLC和溫控器的系統的DIN導軌安裝型。
進深85mm×寬22.5mm的DIN導軌安裝型，收納于薄型控制柜內的纖細機身。
采用端子臺拆裝結構，可輕松更換，提高了維護性。
通過50ms的高速采樣，適用于高速升溫的用途。
通通過無程序通信輕松與PLC相連E3X-VG21指導手冊。
使用通信轉換電纜(另售)與計算機相連后，無無需電源接線即可
設定E3X-VG21指導手冊。也可通過CX-Thermo(另售)輕松設定。
帶輔助輸出(大2點)、事件輸入(大1點)，基本功能齊全。
柜內啟動時或異常時的確認簡單，醒目的白色PV顯示
(PV高8.5mm)。