晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E3X-VG21原理及應(yīng)用。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測(cè)方式：反射型。
檢測(cè)距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線長(zhǎng)：2mE3X-VG21尺寸：48×96mm。
控制輸出1：繼電器。
輔助（報(bào)警）輸出：4個(gè)。
傳送輸出：--。
事件輸入：2個(gè)。
通信：RS-485。
斷線檢測(cè)：1個(gè)。
電源電壓：AC100～240VE3X-VG21原理及應(yīng)用。
E5□C系列的程序型產(chǎn)品新上市。
大256段的程序容量，
支持多種應(yīng)用程序。
可設(shè)定多8個(gè)程序(模式)×32段(步)的程序。
采用高25mm(E5AC-T)、18mm(E5AC-T)的PV顯示(白色)，
提高可視性。
不僅在本體的頂面上，在正面上也配備了工具端口，
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計(jì)算機(jī)相連后，
無需電源接線即可設(shè)定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設(shè)定。
實(shí)現(xiàn)50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(4點(diǎn))、事件輸入(大6點(diǎn))、傳送輸出，
支持各種應(yīng)用程序。
進(jìn)深60mm的纖細(xì)機(jī)身。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯(lián)合溫控器。E3X-VG21原理及應(yīng)用。
警報(bào)：?jiǎn)螆?bào)警報(bào)。
輸出：電壓輸出（固態(tài)繼電器驅(qū)動(dòng)用）。
數(shù)位式泛用雙顯示電子溫度控制器。
DIN 48×48mm 手動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧（Manual Auto-tuning）PID控制。
雙警報(bào)/單警報(bào)及測(cè)溫阻種類豐富。
繼電器/固態(tài)繼電器（SSR驅(qū)動(dòng)）系列化。
有防止誤操作功能。E3Z-T81A檢測(cè)方式:對(duì)射型。
連接方式:導(dǎo)線引出式（2m）3 。
檢測(cè)距離:10m。
輸出方式：PNP輸出。
實(shí)現(xiàn)小型、長(zhǎng)距離、節(jié)省電力和
節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
溫度范圍：-40.0～40.0℃。
正/反動(dòng)作：正動(dòng)作（冷卻用）。
調(diào)節(jié)模式：ON、OFF動(dòng)作。
借助微電腦可實(shí)現(xiàn)（以0.1°C為單位）的溫度控制。
與控制設(shè)備組合使用，可調(diào)整調(diào)節(jié)靈敏度。
附帶便于節(jié)能運(yùn)行的設(shè)定值轉(zhuǎn)換功能，以及便于運(yùn)行停止的控制禁止功能。控制輸出：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(diǎn)。
加熱斷線、SSR故障檢測(cè)功能：--。
事件輸入：--。
通信：RS-485。
端子形狀：螺釘端子臺(tái)型(主單元+端子單元)。
電源電壓：AC/DC24V。
E5□C系列的操作性、維持原狀適合連接觸摸屏/PLC和溫控器的系統(tǒng)的DIN導(dǎo)軌安裝型。
進(jìn)深85mm×寬22.5mm的DIN導(dǎo)軌安裝型，收納于薄型控制柜內(nèi)的纖細(xì)機(jī)身。
采用端子臺(tái)拆裝結(jié)構(gòu)，可輕松更換，提高了維護(hù)性。
通過50ms的高速采樣，適用于高速升溫的用途。
通通過無程序通信輕松與PLC相連E3X-VG21指導(dǎo)手冊(cè)。
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計(jì)算機(jī)相連后，無無需電源接線即可
設(shè)定E3X-VG21指導(dǎo)手冊(cè)。也可通過CX-Thermo(另售)輕松設(shè)定。
帶輔助輸出(大2點(diǎn))、事件輸入(大1點(diǎn))，基本功能齊全。
柜內(nèi)啟動(dòng)時(shí)或異常時(shí)的確認(rèn)簡(jiǎn)單，醒目的白色PV顯示
(PV高8.5mm)。