晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E8Y-A5C-F20H使用手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。E3T-FT22 檢測方式：對射型，
連接方式：導(dǎo)線引出型，
輸出狀態(tài)：遮光時ON，
輸出方式：NPN輸出，
長距離光電傳感器實現(xiàn)回歸反射
型10m距離設(shè)定型2mE3Z-L61-S0SRW-E2微細(xì)光束
反射型E3FA塑料外殼E8Y-A5C-F20H
傳感器類型：對射型E8Y-A5C-F20H使用手冊。
檢測距離：20m。
連接方式：M12接插件。
輸出方式：PNP。
投光器 E3RA-TP21-L 2M。
受光器 E3RA-TP21-D 2M。種類：測溫阻型。
調(diào)節(jié)模式：ON/OFF動作或PID動作。
警報：單報警報。
輸出：電壓輸出（固態(tài)繼電器驅(qū)動用）。
數(shù)位式泛用雙顯示電子溫度控制器。
DIN 48×48mm 手動自動調(diào)諧（Manual Auto-tuning）PID控制。
雙警報/單警報及測溫阻種類豐富。
繼電器/固態(tài)繼電器（SSR驅(qū)動）系列化。
有防止誤操作功能。小型旋轉(zhuǎn)式編碼器(外徑φ20)·增量型。
機器內(nèi)置用途小型1046。
實現(xiàn)外徑φ20mE8Y-A5C-F20H使用手冊。
軸形狀：軸伸出。E32-CC200種類：特殊光束型；同軸/小光點，
特長：φ3圓柱，
彎曲半徑(mm):R25。
標(biāo)準(zhǔn)檢測物體(小檢測物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元E32-T25XB種類：標(biāo)準(zhǔn)型；耐曲折，
特長：平面形狀（小型），
形狀/檢測距離（mm）：180；150；85（35） ，
彎曲半徑(mm):B；R4。
標(biāo)準(zhǔn)檢測物體(小檢測物體)(mm) 1：φ0.5(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元具有更大的傳感距離的安全安裝。
尺寸：M8，非屏蔽。
檢測距離：4mm。
連接方式：M8連接器（3針）。
機身材料：不銹鋼。
螺紋長度（總長度）：27(39)。
輸出形式：NPN。
動作模式：NC。尺寸：48×48mm。
控制輸出1：線性電流輸出。
控制輸出2：--。
輔助輸出：獨立2點。
電源電壓：AC100～240V。
端子類型：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱器斷線、SSR故障檢測功能：--。
通信：--。
事件輸入：4點。
遠(yuǎn)程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選擇、操作及設(shè)定簡便。
輸入輸出點數(shù)等的功能性能充實。
支持應(yīng)用范圍更為廣泛。
采用高15.2mm的PV顯示(白色)，提高可視性。
實現(xiàn)50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(大3點)、事件輸入(大44點)、傳送輸出、
遠(yuǎn)程SP輸入功能，支持各種應(yīng)用程序E8Y-A5C-F20H使用說明書。
E5CCC具有進(jìn)深60mm的纖細(xì)機身E8Y-A5C-F20H使用說明書。
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計算機相連
后，無需電源接線即可設(shè)定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設(shè)定。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯(lián)合溫控器。