增量型外徑φ55高分辨率型。
增量型。
外徑：φ55。
分辨率（大）：6000P/R。
電源電壓：DC5V。
輸出形式：電壓輸出。尺寸：48×48mm。
控制輸出1：電流E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手冊。
輔助（報警）輸出：3個。
傳送輸出：--。
事件輸入：2個。
通信：--。
斷線檢測：1個。
電源電壓：AC100～240VE5EN-HAA2HH03B-W-FLK
可視性優異的白色PV(當前值)顯示段顯示使確認工作更輕松。
醒目白色+業界大顯示尺寸
通過黑底白字的顯示和業界大的顯示尺寸實現優異可視性E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手冊。
無論從哪個角度或在自然采光環境下、陰暗的現場，
均可快速、準確地確認當前值。
顯示當前值(PV/白色)、目標值(SV/綠色)及程序進展情況(PRG、SEG/黃色)。
可同時查看，無需切換顯示，從而提高作業效率。E3S-CD61檢測方式：擴散反射型，
連接方式：導線引出型，
優越的耐水·耐油、耐沖擊性實
現長距離檢測尺寸：96×96mm。
種類：電源AC/DC24V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：輸出單元方式。
控制輸出2：輸出單元方式。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點。
加熱器用斷線、SSR故障檢測功能：單相或三相加熱器用檢測功能。溫控器新增（高分辨率、高速、輸入）型產品E5EN-HAA2HH03B-W-FLK手冊。
支持簡易運算、預防維護。
采用可通過紅外線端口從前面進行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態（自動/手動、RUN/STOP、報警發生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進行簡易運算功能（AND/OR邏輯和）設定，
能夠執行柔性的接點輸出。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預測溫控器內部繼電器的故障。
備有位置比例型。E3S-LS3NWT檢測方式:限定反射型。
連接方式:導線引出式。
檢測距離: 10 - 60mm。
功能型:有。
輸出方式：NPN輸出，
穩定檢測 不受孔及切口的影響晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂脂E5EN-HAA2HH03B-W-FLK使用說明書E5EN-HAA2HH03B-W-FLK使用說明書。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2m。